董教授的話中打着埋伏,是要當着衆人的面跟胡明鎮還價。作爲工程院的學術帶頭人,他是有資格引進一鳴集團公司製造的高精度檢測儀器系統。
但這種耗資七八千萬的大型科研項目,還是要通過會議集體來決策。而今天的現場的院士都有資格參加會議討論作出決策,董教授趁機提出這條建議,讓大家有點心理準備。
“我支持老董的意見。不過胡教授,你們一鳴集團公司也應該給我們一個特優惠的報價,我們工程院的課題資金費實在太緊張了。”
“老韓說得對。這項目一旦被批准,我們的課題費都要被削減。”
“老胡啊,你行行好。爲了我們華國的科研事業,你這邊一定要壓縮成本再壓縮!”
劉教授、單教授等人都笑眯眯拿胡明鎮開玩笑,半真半假的在壓價。
胡明鎮經驗豐富,怎麼會聽不出來?“各位專家,無論我們怎麼壓縮陳本,光刻室裡的這套高精度檢測儀器系統,造價不會低於七千萬元吶。”他微皺着眉頭解釋。
“各位院士,我老師說得沒錯。我們集團公司爲了研發這臺光刻機,總共投入十三億多元。激光光路系統花了三億多,主體系統也只有兩億多。其他的費用就是花在這些精密儀器研發的方面。”
這時,樑宋鬆也出來幫忙,給老師胡明鎮解圍。
聽他說完這番話,光刻室裡的各位專家教授們頓時都大驚失色。
“一個課題項目燒了十三億多,我的乖乖!”
“由此看來,光刻機項目也只能讓企業牽頭來搞。我們這些科研教學單位肯定搞不起來。”
“是啊,一鳴集團公司真的願意在科技創新方面花大錢,不像有的企業就是一句空話。”
劉教授等人都在咂舌驚歎,也不好意思再往下還價了。胡明鎮雖然沒說出這種高精度檢測儀器的成本分項,他們也能猜測到其中的配件肯定非常貴。
於是乎,董教授跟大家一合計,決定先在京師科學院搞一個實驗室中心,把光刻室的這套高精度測量系統引進過去。
做完決策,他又笑眯眯的跟胡明鎮商量,“老胡,我們準備跟貴集團公司合作,在南安創辦一個電子大學。你們單位也要投資,最好就把這套精密測驗儀器系統配置到大學實驗室裡。”
“這個辦法好,我舉雙手贊成。”劉教授聽出董教授話中的含義,在一旁配合着笑道。
他們這個打算很精明,通過這番操作,華夏科學院立即就能獲得兩個高檔的實驗室,實驗室的裝備水平在全球都算是一流的。
胡明鎮聽到這番話,心裡在猶豫。
“這麼重大的投資,我也無權決策啊。不過。各位專家,我們許董一向喜歡在新技術方面投入巨資,咱們合作辦學的這個電子大學。我想他應該會批准的。”他只能含糊其辭的說着客套話,並沒有拒絕董教授等人的提議。
“只要許董願意投資,我們這聯合辦學的大學就由許董來命名。”
“對,我建議讓許董親自任校長!”
董教授、劉教授等人笑呵呵的跟着補刀,想把這個決策給坐實了。
就在這時,負責光刻機整機聯動調試的郝寧教授,朝胡明鎮招了招手,“胡總,我們剛纔已經模擬運行過一次,這臺光刻機的各項參數、性能指標等都正常。咱們是不是該進行下一步的芯片流片工程測試?”
按照光刻機本來的調試流程,一定要通過三次模擬實驗以後才能開始進行流片測試。但爲了趕時間,郝寧教授纔會這麼詢問胡明鎮。
胡明鎮聞言,稍稍猶豫了片刻。他性格謹慎,從來都不喜歡冒險。但是爲了政治任務,只好微微點頭,“老郝,我同意執行流片測試程序。”
“好!”
郝寧教授朝負責流片的技術員們一揮手,“立即執行流片工程測試程序!”
隨着他這一聲令下,光刻室裡的技術員們頓時都忙碌起來,做流片工序的準備工作。
芯片流片非常講究,僅僅光刻室裡就由許多道製程工藝組成。
比如說,蝕刻掩膜片、給掩膜片塗抹光刻膠、清潔激光頭、激光頭校準對焦……等等等等。
這些工序的精度要求都非常高,而且要在無塵狀態操作,不得馬虎。
不但如此,光刻室的燈光照明、聲波、震動波、電磁波、溫度、溼度等技術參數都有嚴格的規定,否則都會影響光刻硅晶圓片的精度,影響流片的成品率。
“老胡,這臺設備我們已經測試過很多次,也通過好幾次實戰,應該沒問題。”郝寧教授見胡明鎮的目光一直都盯着光刻機工作站的電腦顯示屏,所以才特意走來寬慰幾句。
胡明鎮聞言收回目光,朝郝寧教授頷首點頭,“我知道這次流片測試應該問題不大。但總是感到有些不踏實。”
“是不是就像準備去參加高考一樣?”站在他身旁的劉教授說起玩笑話,拿胡明鎮開心。
玩笑話雖然是玩笑話,但跟胡明鎮此時的心態有點類似。作爲搞技術研發的一名專家,每當自己的科研項目接受論證審查時,應該都是這種心態的。
一個半小時以後,樑宋鬆對這臺光刻機再三巡查了一遍,然後朝胡明鎮伸出兩個大拇指,“報告胡總,全國產第一臺KrF光刻機已經做好準備,下面要開始執行光刻製程工序,請指示。”
“開始!”
胡明鎮猛然一揮手。
“嘟嘟嘟……”隨着這一聲令下,這臺光刻機主體系統上方的報警燈開始閃爍,隔絕玻璃門開始緩緩關閉。
“好啊,終於開始了。”
“這是一個偉大的時刻!”
“我們這些人都在見證歷史啊。”
看到這一幕,劉教授、董教授、單教授等人都非常激動,嘴裡忍不住嘮嘮叨叨的說着話。
因爲他們這些人跟胡明鎮一樣,也是第一次見證這臺全國產第三代光刻機的正式執行光刻製程工藝。
這是一個值得紀念的時刻!
劉教授特意看了看自己的手錶,時間是:“1997年,2月16日凌晨0點19分30秒!”